슬롯사이트

‘노광분야-여전히 난제, 에처·CVD·메인테스터분야-슬롯사이트대체 시동, 원자층증착장비(ALD)·애셔·번인테스터분야-시장 주도’

　슬롯사이트 반도체장비의 현주소를 살펴보기 위해 본지가 관련업계의 협조를 얻어 슬롯사이트화 수준 및 실제 라인 채택 현황을 분석한 결과 이같이 나타났다.

　이 번 조사에서 ALD·애셔·번인테스터·핸들러·세정장비 등은 이미 슬롯사이트장비가 국내 팹에 50% 이상 채택돼 슬롯사이트대체에 성공을 거두고 있는 것으로 드러났다. 표 참조

　장비업계 한 CEO는 “삼성전자·....