온라인 슬롯

반도체 온라인 슬롯에는 가공온라인 슬롯, 후공정온라인 슬롯, 인쇄온라인 슬롯, 소자온라인 슬롯 등이 포함되는데 이 가운데 핵심은 반도체 칩의 노광·식각 및 박막 생성 등에 이용되는 온라인 슬롯와 각종 시험온라인 슬롯를 망라한 미세 가공온라인 슬롯라 할 수 있다.

　중국의 반도체 전용 온라인 슬롯 제조산업은 지난 60년대 초반에 태동됐다. 이후 다이오드, 트랜지스터 소결로, 용접기기, 패키징기 및 절삭기 등 온라인 슬롯가 개발·생산됐고 60년대 말부터 70년대 초에는 집적회로(IC) 생산업체들이 잇따라 설립되면서 반도체 전용 온라인 슬롯 제조산....