슬롯

#슬롯는 반도체 주요 공정 중 '세정' 작업에서 필수적으로 쓰이는 소재다. 반도체 칩은 실리콘 웨이퍼 위에 얇은 층을 겹겹이 쌓아서 만들어진다. 슬롯는 층을 쌓는사이 자연스럽게 생길 수밖에 없는 물질(산화막)을 깨끗하게 제거하는 역할을 한다. 필요하지 않은 물질을 제거하면서 다음에 올라갈 층과의 전기적 연결을 최대한 매끄럽게 하기 위한 것이다. 액체 상태의 슬롯가 주로 쓰인다. 이 소재는 모리타, 스텔라 등 일본 회사들이 세계 70% 이상 주도권을 쥐고 있....