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슬롯사이트 볼트 추천 펠리클 연도별 수요 전망
카테고리 : 정보통신 지면 : 1면 개제일자 : 2021.10.13 관련기사 :삼성, 슬롯사이트 볼트 추천 공정 필수품 '펠리클' 직접 개발
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- 삼성, 슬롯사이트 볼트 추천 공정 필수품 '펠리클' 직접 개발
슬롯사이트 볼트 추천가 극자외선(EUV) 공정 필수품으로 꼽히는 '펠리클'을 자체 개발한다. 초미세 반도체 제조에 사용되는 EUV 공정 경쟁력을 강화하기 위한 전략이다. ASML, 미쓰이화학, 에스앤에스텍, 에프에스티 등이 참여 중인 펠리클 시장에 슬롯사이트 볼트 추천가 경쟁사로 등장했다.
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