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국내 액화수소·특수가스 솔루션 스타트업 패리티가 극저온 냉각 방식을 활용한 고순도 네온 양산 기술을 개발했다. 고순도 네온은 반도체 공정에서 필수 가스지만 수입에 의존해 왔다. 패리티는 고순도 '네온 분리시스템'을 개발하고 논산 공장에 생산 파일럿 라인을 구축했다고 3일 밝혔다. 패리티 네온 분리 시스템은 영하 230~250도의 극저온 직접 냉각 방식을 활용했다. 패리티가 독자 개발한 기술로 99.9999%(6N)의 고순도 슬롯사이트 추천를 추출할 수 있다. 기존 슬롯사이트 추천 생산 방식 대비....