카테고리 : 정보통신 개제일자 : 2003.12.26 관련기사 :슬롯사이트 지니 장비 개발 `붐`
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사진; 에스이슬롯사이트에서 개발한 대면적 LCD용 대기압 슬롯사이트 세정장비. 대기압 슬롯사이트 기술을 응용, 별도의 진공장치가 필요하지 않고 별도의 화학유제가 필요하지 않아 환경 친화적이며 장비의 운용 및 유지보수 비용이 절감되는 것이 특징이다. 슬롯사이트 소스와 관련한 기술력이 부족한 국내업계도 슬롯사이트를 응용한 식각 및 증착장비의 국산화에 나서고 있다. 25일 관련 업계에 따르면 저온 및 대기압 슬롯사이트를 응용한 제조 공정이 반도체, 디스플레이 분야에서....