관련 통계자료 다운로드 정부의 반도체 전공정장비 국산화 맞춤형 지원체계
10% 전후에 머물고 있는 반도체 전공정장비 국산화를 위해 정부가 ‘맞춤형 지원체계’를 구축한다. 특히 정부는 개발부담이 큰 차세대 초미세공정용 장비를 중심으로 지원을 강화해, 이미 해외업체가 개발한 장비의 국산대체를 넘어 국내 중소기업들이 미래기술을 상용화할 수 있도록 한다는 복안이다.
이 맞춤형 지원슬롯사이트은 차세대 원천기술을 보유하고 있는 중소 장비업체들이라면, 누구든지 그 원천기술을 사장하지 않고 적극 활용해 슬롯사이트을 영위할 수 있도록 하는 ‘장비 국산화 지원슬롯사이트’의 표본 모델로 평가되고 있다.
◇반도체장비 원천기술 상용화슬롯사이트 시동 = 정부는 지난해 본격 운영에 들어간 수급기업펀드슬롯사이트과 장비평가팹슬롯사이트에 이어 최근 반도체장비 원천기술 상용화슬롯사이트의 시동을 걸었다.
올해 9월 본격 가동을 목표로 추진되는 반도체장비 원천기술 상용화슬롯사이트은 오는 2009년과 2012년 각각 상용화될 것으로 보이는 45나노급가 32나노급 양산적용이 가능한 장비 및 신물질 관련 원천기술을 확보하고 있는 중소기업에게 우선 혜택이 돌아간다. 향후 450㎜ 웨이퍼에 대응 가능한 기술 육성도 고려하고 있다. 슬롯사이트기간은 2011년까지 5년간으로 총 2500억원이 투입된다.
◇맞춤형 지원체계 완성=이번에 추진되는 반도체장비 원천기술 상용화슬롯사이트은 장비국산화의 씨앗을 뿌리는 작업이라고 할 수 있다. 이미 진행되고 있는 장비평가팹과 수급기업펀드슬롯사이트의 기초 작업에 해당한다.
장비평가팹슬롯사이트은 씨앗이 뿌려져 열린 열매(중소기업의 제조장비)를 대기업 생산라인에 투입해 생산수율·신뢰성 등을 평가하는 것으로, ‘열매의 가치’를 분석하는 작업이다. 수급기업펀드슬롯사이트은 가치있는 열매를 실제로 양산해 시장에 내다 팔 수 있는 터전을 위해 시설 및 운영자금을 무담보로 제공하는 것으로, ‘비닐하우스(공장)’ 운영을 지원하는 슬롯사이트인 셈이다.
정부는 ‘맞춤형 지원체계’ 운영을 위해 반도체장비 상용화슬롯사이트단을 구성했다. 슬롯사이트단은 중소기업이 제안한 원천기술을 심사해 △원천기술을 활용한 장비 개발 지원 △개발한 장비에 대한 수요기업의 평가·인증 △평가가 끝난 장비에 대한 슬롯사이트화 지원 등의 순으로 맞춤형 지원에 나선다. 슬롯사이트의 성과를 극대화하기 위해, 수요대기업과의 MOU를 바탕으로 진행된다.
◇나눠주기식 지원 지양=맟춤형 지원체계의 가장 큰 특징은 선택과 집중을 통해 될성싶은 씨앗을 집중 육성하고 지원함으로써 슬롯사이트의 실질적 효과를 극대화한다는 점이다.
반도체장비 상용화슬롯사이트단 관계자는 “과거 정부의 R&D슬롯사이트이 잡음을 최소화하기 위한 ‘공평한 분배’에 초점이 맞춰져 있었다면, 이번 맞춤형지원슬롯사이트은 리스크를 감수하더라도 수요대기업은 물론 해당산업의 발전에 보탬이 되는 결과물을 도출해 내겠다는 의지를 담고 있다”고 설명했다.
특히 이번 슬롯사이트은 원천기술의 보유 여부를 전문가풀을 활용해 철저히 분석한 뒤 그 결과를 바탕으로 지원업체를 선정할 계획이어서, 차세대 첨단장비분야에서만큼은 해외기업과의 특허 논란에서 자유로운 환경이 조성될 것으로 기대된다.
심규호기자@전자신문, khsim@