슬롯 머신 프로그램

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반도체 웨이퍼 이송장비 전문업체 슬롯 머신 프로그램가 삼성전자에 이어 SK하이닉스로 공급되는 장비 매출에서 의미 있는 증가세를 보여 주목된다. 신규 고객사 매출 증가, 반도체 산업계 시설투자 확대로 슬롯 머신 프로그램는 올해 사상 최고 실적을 올릴 것으로 예상된다.

8일 관련 업계에 따르면 슬롯 머신 프로그램는 최근 한미반도체에 EFEM(Equipment Front End Module)을 공급했다. 슬롯 머신 프로그램 EFEM은 한미반도체 신 장비 '듀얼 서멀콤프레션(TC) 본더'와 붙어 SK하이닉스로 납품되고 있다. SK하이닉스는 이 장비를 실리콘관통전극(TSV) 기술을 적용한 초고속 D램 고대역폭메모리(HBM) 생산에 활용한다. 슬롯 머신 프로그램는 또 국내 반도체 전공정 장비 업체 T사와 W사가 SK하이닉스로 공급하는 증착 장비용 EFEM 매출도 꾸준히 늘고 있는 중이라고 설명했다. 그간 슬롯 머신 프로그램는 네덜란드 ASM을 통해 SK하이닉스로 EFEM을 소량 납품해왔다. 매출액 비중도 낮은 한 자릿수로 작았다. 그러나 올해 연간으로는 이 비중이 두 자릿수로 올라가고 계속 확대될 것이라고 업계 관계자는 분석했다.

슬롯 머신 프로그램 주력 매출원은 웨이퍼 이송 장비다. 웨이퍼를 담아 두는 풉(FOUP)의 문을 여닫으며 웨이퍼를 주고받는 로드포트모듈(LPM), LPM 2~4개를 하나로 모은 EFEM, EFEM에서 챔버로 웨이퍼를 보내는 트랜스퍼 모듈 등이 있다. 슬롯 머신 프로그램 주 거래사는 증착과 식각, 후공정 장비 등을 다루는 국내외 업체다. 삼성전자나 SK하이닉스의 2차 협력사라는 의미다. 반도체 투자가 일어나면 장비 업체보다 먼저 수혜를 본다. 장비 조립 전에 EFEM 등을 먼저 생산해야 하기 때문이다.

슬롯 머신 프로그램는 삼성전자 반도체 사업부와는 직접 거래도 하고 있다. 일반적인 웨이퍼 이송 장치의 질소(N2) 순환시스템(Purging) 교체 작업이 주요 매출원이다. 이 솔루션은 웨이퍼가 풉이나 LPM에서 대기 혹은 이동할 때 혹시 있을지 모를 가스 미립자에 의한 수율 저하를 원천 봉쇄한다. 슬롯 머신 프로그램는 N2 순환 기술이 적용된 LPM 완성품 기술도 보유하고 있다.

슬롯 머신 프로그램의 지난 상반기 매출은 790억원, 영업이익은 116억원이었다. 각각 작년 같은 기간 대비 344.9%, 1686.4% 늘어난 수치다. 이미 작년 연간 실적(매출 732억원, 영업이익 74억원)을 상회했다. 증권가에선 슬롯 머신 프로그램가 올해 연간 매출액이 1200억원, 영업이익이 170억원 수준에 이를 것으로 전망하고 있다. 이는 회사 창립 이후 최고 실적이다. 업계 관계자는 “전방 산업계의 투자 확대 발표로 증권가의 실적 전망치를 상회할 가능성이 있다”고 설명했다.